Microreplication in a Silicon Processing Compatible Polymer Material
Paper i proceeding, 2005

Författare

Jonas Melin

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Anders Magnusson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Henrik Rödjegård

Katrin Persson

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Fredrik Nikolajeff

IEEE Optical Mems, Uleåborg, Finland, 1-4 August

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik