A FOUR LEVEL SILICON MICROSTRUCTURE FABRICATION BY DRIE
Paper i proceeding, 2015

Författare

Piotr Cegielski

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Forskning Andra publikationer

Sofia Rahiminejad

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

Sona Carpenter

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Forskning Andra publikationer

Morteza Abbasi

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Forskning Andra publikationer

Peter Enoksson

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

26th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, MME 2015, Toledo, Spain, September 20 - 23, 2015

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik (2010-2017)

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Nanoteknik

Mer information

Skapat

2017-10-07

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE