A FOUR LEVEL SILICON MICROSTRUCTURE FABRICATION BY DRIE
Paper i proceeding, 2015

Författare

Piotr Cegielski

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Sofia Rahiminejad

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Sona Carpenter

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Morteza Abbasi

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

26th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, MME 2015, Toledo, Spain, September 20 - 23, 2015

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Nanoteknik