A FOUR LEVEL SILICON MICROSTRUCTURE FABRICATION BY DRIE
Paper i proceeding, 2015
Författare
Piotr Cegielski
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Sofia Rahiminejad
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Sona Carpenter
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Morteza Abbasi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
26th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, MME 2015, Toledo, Spain, September 20 - 23, 2015
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Ämneskategorier
Nanoteknik