Hot Embossed Microoptics in Silicon Micromachining using a Substrate Bonder
Paper i proceeding, 2008
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Caglar Ataman
Sven Holmström
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Hakan Urey
Proceedings of 19th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2008
137-140
978-3-00-025529-8 (ISBN)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Annan elektroteknik och elektronik
ISBN
978-3-00-025529-8