Low-resistance Si/Ti/Al/Ni/Au multilayer ohmic contacts to undoped AlGaN/GaN heterostructures
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2004
Författare
Vincent Desmaris
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Joakim Eriksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Niklas Rorsman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Herbert Zirath
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Electrochemical and Solid-State Letters
Vol. 7 4 G72-
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik