Microreplication in a Silicon Processing Compatible Material
Paper i proceeding, 2005
We present a novel fabrication process for the integration of polymer micro-optical elements on silicon. The process relies on a reverse order protocol based on embossing in an amorphous fluorocarbon polymer, Cytop™.
Författare
Jonas Melin
Uppsala universitet
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Anders Magnusson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Henrik Rödjegård
Imego AB - The Institute of Micro and Nanotechnology
Katrin Persson
Imego AB - The Institute of Micro and Nanotechnology
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Fredrik Nikolajeff
Uppsala universitet
IEEE/LEOS Optical MEMS 2005: International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Oulu, Finland, 1-4 August 2005
89-90
978-078039278-6 (ISBN)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
DOI
10.1109/OMEMS.2005.1540091
ISBN
978-078039278-6