A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology

Jessica Melin; Peter Enoksson; Thierry Corman; Göran Stemme

A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Jessica Melin

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Thierry Corman

Göran Stemme

Journal of Micromechanics and Microengineering

10 209-217

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Meddelande

Din e-postadress

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Chalmers bibliotek

Chalmers forskning

Chalmers examensarbeten

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE

A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000