A valve-less planar pump isotropically etched in silicon
Paper i proceeding, 1995
Författare
Anders Olsson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
The Sixth Micromechanics Europe Workshop (MME'95), Copenhagen, Denmark, Sept. 3-5
120-123
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)