(Cl2:Ar) ICP/RIE dry etching of Al(Ga)Sb for AlSb/InAs HEMTs
Paper i proceeding, 2007
Författare
Eric Lefebvre
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Malin Borg
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Mikael Malmkvist
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Jan Grahn
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Ludovic Desplanque
Xavier Wallart
Yannick Roelens
Gilles Dambrine
Alain Cappy
Sylvain Bollaert
Proc. 19th Indium Phosphide and Related Materials
pp. 125-128
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik