Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Mesa Structures for Microphotoluminescence
Paper i proceeding, 2003
Författare
Toshio Kawahara
Fredrik Fälth
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Xinju Liu
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Thorvald Andersson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Vincent Desmaris
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Proceedings of the 2nd IMP3 conference
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik