Charging phenomena at the interface between high-k dielectrics and SiOx interlayers
Paper i proceeding, 2009
Författare
Olof Engström
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Bahman Raeissi
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Johan Piscator
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
I. Z. Mitrovic
S. Hall
H. D. B. Gottlob
M. Schmidt
P.K. Hurley
K. Cherkaoui
8th Symposium Diagnostics & Yield Advanced Silicon Devices and Technologies for the ULSI Era, Warsaw, June 22 - 24, 2009 (Invited)
Ämneskategorier
Annan teknik
Övrig annan teknik