Microreplication in a silicon processing compatible polymer material
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005
Författare
Jonas Melin
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Anders Magnusson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Henrik Rödjegård
Katrin Persson
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Fredrik Nikolajeff
Jornal of Micromechanics and Microengineering
Vol. 15 7 116-121
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik