Replicated diffractive optical element in silicon micromachining
Paper i proceeding, 2004
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Anders Magnusson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Jonas Melin
Henrik Rödjegård
Gert Andersson
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Fredrik Nikolajeff
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Micromechanics Europe (MME04) (Leuven, Belgium, 2004)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik