Void-Free Full Wafer Adhesive Bonding
Paper i proceeding, 2000
Författare
Frank Niklaus
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Edvard Kälvesten
Göran Stemme
IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (MEMS2000), Miyazaki, Japan, Jan. 23-27
247-252
Ämneskategorier
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap