Silicon Tube Structures for a Fluid Density Sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
Sensors and Actuators A 54
558-562
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Transport
Produktion