Silicon Tube Structures for a Fluid Density Sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

Sensors and Actuators A 54

558-562

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Produktion