A low pressure encapsulated resonant fluid density sensor with feedback control electronics
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Kjell Norén
Göran Stemme
IOP Journal of Measurement Science and Technology
Vol. 11 3 205-211
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Produktion