A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Jessica Melin

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Thierry Corman

Göran Stemme

Journal of Micromechanics and Microengineering

209-217

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik