Optically excited microresonator for force measurements
Paper i proceeding, 1998
Författare
Niklas Johnsson
Hans Sohlström
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion