Optically excited microresonator for force measurements
Paper i proceeding, 1998

Författare

Niklas Johnsson

Hans Sohlström

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Mer information

Skapat

2017-10-07