Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers
Paper i proceeding, 2001

Författare

Frank Niklaus

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Patrick Griss

Edvard Kälvesten

Göran Stemme

The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany

Ämneskategorier

Maskinteknik

Materialteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Materialvetenskap

Mer information

Skapat

2017-10-07