Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers
Paper i proceeding, 2001
Författare
Frank Niklaus
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Patrick Griss
Edvard Kälvesten
Göran Stemme
The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap