Double-sided bulk micromachining of silicon-on-insulator films using room-temperature oxygen plasma assisted wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002
Författare
Anke Sanz-Velasco
Institutionen för mikroelektronik
Henrik Rödjegård
Gert Andersson
Journal of Micromechanics and Microengineering
Vol. v12 n6 786-7-94-
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik