Double-sided bulk micromachining of silicon-on-insulator films using room-temperature oxygen plasma assisted wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002

Författare

Anke Sanz-Velasco

Institutionen för mikroelektronik

Henrik Rödjegård

Gert Andersson

Journal of Micromechanics and Microengineering

Vol. v12 n6 786-7-94-

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik