Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding

Petra Amirfeiz

Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding
Licentiatavhandling, 2001

surface energy

diffusion

water

porous silica

oxygen plasma

wafer bonding

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 401

Mer information

Skapat

2017-10-07

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Meddelande

Din e-postadress

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)