Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding
Licentiatavhandling, 2001

surface energy

diffusion

water

porous silica

oxygen plasma

wafer bonding

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 401

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se
CPL Research Web

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE