Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding
Licentiatavhandling, 2001

surface energy

diffusion

water

porous silica

oxygen plasma

wafer bonding

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 401