Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding
Licentiatavhandling, 2001
surface energy
diffusion
water
porous silica
oxygen plasma
wafer bonding
Författare
Petra Amirfeiz
Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik
Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 401