A four level silicon microstructure fabrication by DRIE
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2016
MEMS
micromachining
DRIE
Författare
Sofia Rahiminejad
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Piotr Cegielski
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)
Morteza Abbasi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Journal of Microelectromechanical Systems
1057-7157 (ISSN)
Vol. 26 8 084003-Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik (2010-2017)
Transport
Produktion
Drivkrafter
Innovation och entreprenörskap
Ämneskategorier
Kommunikationssystem
Nanoteknik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.1088/0960-1317/26/8/084003