A four level silicon microstructure fabrication by DRIE
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2016
DRIE
micromachining
MEMS
Författare
Sofia Rahiminejad
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Piotr Cegielski
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Morteza Abbasi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Journal of Microelectromechanical Systems
1057-7157 (ISSN)
Vol. 26 8 084003Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik
Transport
Produktion
Drivkrafter
Innovation och entreprenörskap
Ämneskategorier
Kommunikationssystem
Nanoteknik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.1088/0960-1317/26/8/084003