Making thick photoresist SU-8 flat on small substrates
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2019
small substrates
edge beads
SU-8 uniformity
Författare
Avgust Yurgens
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Kvantkomponentfysik
Journal of Micromechanics and Microengineering
0960-1317 (ISSN)
Vol. 29 1 017001Ämneskategorier
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik
Annan fysik
Diskret matematik
DOI
10.1088/1361-6439/aaed1c