Qubit-Compatible Substrates With Superconducting Through-Silicon Vias
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2022
We fabricate and characterize superconducting through-silicon vias and electrodes suitable for superconducting quantum processors. We measure internal quality factors of a million for test resonators excited at single-photon levels, on chips with superconducting vias used to stitch ground planes on the front and back sides of the chips. This resonator performance is on par with the state of the art for silicon-based planar solutions, despite the presence of vias. Via stitching of ground planes is an important enabling technology for increasing the physical size of quantum processor chips, and is a first step toward more complex quantum devices with three-dimensional integration.
Qubit
Q-factor
superconducting through-silicon via
titanium nitride
Electrodes
tantalum
quantum coherence
Superconducting microwave devices
Through-silicon vias
High-Q resonator
TSV
Resonators
Semiconductor device measurement
Författare
K. Grigoras
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Nikolai Yurttagül
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
J. P. Kaikkonen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
E. T. Mannila
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
P. Eskelinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
D. P. Lozano
H. X. Li
Marcus Rommel
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet
Daryoush Shiri
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
N. Tiencken
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
S. Simbierowicz
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
A. Ronzani
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
J. Hatinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
D. Datta
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
V. Vesterinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
L. Gronberg
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Janka Biznárová
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Anita Fadavi Roudsari
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Sandoko Kosen
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Amr Osman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Mika Prunnila
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
J. Hassel
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Jonas Bylander
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
J. Govenius
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
IEEE Transactions on Quantum Engineering
26891808 (eISSN)
Vol. 3 5100310Ämneskategorier
Annan fysik
Annan elektroteknik och elektronik
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.1109/TQE.2022.3209881