Novel monocrystalline silicon micromirrors for maskless lithography
Preprint, 2007
DRIE
Micromirrors
EUV lithography
Electrostatic actuation
Transfer bonding
Maskless Lithography
Författare
Martin Bring
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik