A monolithic three-axial SOI-accelerometer with uniform sensitivity
Paper i proceeding, 2004
Författare
Henrik Rödjegård
Christer Johansson
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Gert Andersson
EUROSENSORS XVIII, Rome, Italy, Sept. 11-13, 2004
Ämneskategorier
Reglerteknik