Low temperature cofired ceramics for mems bonding
Paper i proceeding, 2010
Författare
M. F. Khan
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Farzan Alavian Ghavanini
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Cristina Rusu
Sjoerd Haasl
L Löfgren
K Persson
K. Schjolberg-Henriksen
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Micronano Systems Workshop 2010 (MSW 2010), 4-5 May, 2010, Stockholm, Sweden
Styrkeområden
Transport
Produktion
Ämneskategorier
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik