A valve-less planar pump isotropically etched in silicon
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996
Författare
Anders Olsson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 6, No. 1
87-91
Styrkeområden
Transport
Produktion
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)
Ämneskategorier
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik