A valve-less planar pump in silicon
Paper i proceeding, 1995
Författare
Anders Olsson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
The 8th International Conference on Solid-State Sensors (TRANSDUCERS'95), Stockholm, Sweden, June 25-29
291-294
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Transport
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)