A Coriolis mass flow sensor structure in silicon
Paper i proceeding, 1996
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1996 MEMS), Feb. 11-15, San Diego, USA
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Transport
Energi
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)