Novel burst technology for closed loop detection and excitation of resonant silicon sensors
Paper i proceeding, 1999
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Kjell Norén
Göran Stemme
Transducers´99, June 7-10, Sendai, Japan
Ämneskategorier
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Materialvetenskap