Application of SOI based sensors for MEMS wafer-level packaging
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006
Författare
Farzan Alavian Ghavanini
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Cristina Rusu
Katrin Persson
Sjoerd Hassl
Henrik Rödjegård
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
EuroSOI conference proceedings
Vol. 1 1 115,116-
Ämneskategorier
Övrig annan teknik