Towards sub-nanometer feature sizes by high-resolution electronbeam litography
Forskningsprojekt , 2013 – 2020

Beskrivning saknas.

Deltagare

Peter Modh (kontakt)

Avdelningschef vid Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet

Finansiering

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse

Finansierar Chalmers deltagande under 2013–2020

Relaterade styrkeområden och infrastruktur

Hållbar utveckling

Drivkrafter

Nanovetenskap och nanoteknik (2010-2017)

Styrkeområden

Nanotekniklaboratoriet

Infrastruktur

Mer information

Senast uppdaterat

2015-12-16