Towards sub-nanometer feature sizes by high-resolution electronbeam litography
Forskningsprojekt, 2013
– 2020
Beskrivning saknas.
Deltagare
Peter Modh (kontakt)
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet
Finansiering
Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse
Projekt-id: 2011-0227
Finansierar Chalmers deltagande under 2013–2020
Relaterade styrkeområden och infrastruktur
Hållbar utveckling
Drivkrafter
Nanovetenskap och nanoteknik
Styrkeområden
Nanotekniklaboratoriet
Infrastruktur