MEMS sensor for in situ TEM-nanoindentation with simultaneous force and current measurements
Paper i proceeding, 2009
capacitive detection
current measurement
force sensor
situ TEM
Nanoindentation
Författare
Alexandra Nafari
Krister Svensson
Anke Sanz-Velasco
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
MicroMechanics Europe 2009
4-
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik