A monolithic three-axial SOI-accelerometer with uniform sensitivity
Paper i proceeding, 2004

Författare

Henrik Rödjegård

Christer Johansson

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Gert Andersson

EUROSENSORS XVIII, Rome, Italy, Sept. 11-13, 2004

Ämneskategorier

Reglerteknik