A micromachined Nanoindentation force sensor
Paper i proceeding, 2004

microfabrication

force sensor

nanoindentation

Författare

Alexandra Nafari

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Håkan Olin

Andrey Danilov

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Kvantkomponentfysik

Eurosensors

Vol. XVIII 62-63

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik