A micromachined Nanoindentation force sensor
Paper i proceeding, 2004
microfabrication
force sensor
nanoindentation
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Håkan Olin
Andrey Danilov
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Eurosensors
Vol. XVIII 62-63
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik