A micromachined nanoindentation force sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005

transmission electron microscope

microfabrication

interchangable tip

Force sensor

Nanoindentation

Capacitive detection

Författare

Alexandra Nafari

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Andrey Danilov

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Kvantkomponentfysik

Henrik Rödjegård

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Håkan Olin

Sensors and Actuators, A: Physical

0924-4247 (ISSN)

Vol. A123-124 44-49

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik