A micromachined nanoindentation force sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005
transmission electron microscope
microfabrication
interchangable tip
Force sensor
Nanoindentation
Capacitive detection
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Andrey Danilov
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Henrik Rödjegård
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Håkan Olin
Sensors and Actuators, A: Physical
0924-4247 (ISSN)
Vol. A123-124 23 44-49Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik