MEMS sensor for in situ TEM-nanoindentation with simultaneous force and current measurements
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2010
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
J. Angenete
Nanofactory Instruments
Krister Svensson
Karlstads universitet
Anke Sanz-Velasco
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Journal of Micromechanics and Microengineering
0960-1317 (ISSN) 13616439 (eISSN)
Vol. 20 6 064017Styrkeområden
Transport
Produktion
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
DOI
10.1088/0960-1317/20/6/064017