Widely tunable high-speed bulk-micromachined short-wavelength MEMS-VCSEL
Paper i proceeding, 2010
We present the first results of a high-speed bulk-micromachined tunable vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) operating near 850nm using a half-symmetric resonator with a movable curved microelectromechanical system (MEMS) membrane.
Författare
Hooman A. Davani
Technische Universität Darmstadt
Christian Grasse
Technische Universität München
Benjamin Kögel
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Petter Westbergh
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Christian Gierl
Technische Universität Darmstadt
Karolina Zogal
Technische Universität Darmstadt
Sandro Jatta
Technische Universität Darmstadt
Gerhard Böhm
Technische Universität München
Tobias Gründl
Technische Universität München
Peter Meissner
Technische Universität Darmstadt
Anders Larsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
M. C. Amann
Technische Universität München
Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International
0899-9406 (ISSN)
9-10978-1-4244-5683-3 (ISBN)
Ämneskategorier
Telekommunikation
DOI
10.1109/ISLC.2010.5642777
ISBN
978-1-4244-5683-3