Low temperature cofired ceramics for mems bonding
Paper i proceeding, 2010

Författare

M. F. Khan

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial

Farzan Alavian Ghavanini

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial

Cristina Rusu

Sjoerd Haasl

L Löfgren

K Persson

K. Schjolberg-Henriksen

Peter Enoksson

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial

Micronano Systems Workshop 2010 (MSW 2010), 4-5 May, 2010, Stockholm, Sweden

Styrkeområden

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-08