Synthesis and characterization of vertically aligned carbon nanofibers for nanoscale devices
Doktorsavhandling, 2011
Nanoelectromechanical systems (NEMS)
Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
Vertically aligned carbon nanofibers (VACNF)
Författare
Farzan Alavian Ghavanini
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
An easy-to-implement method for evaluation of capacitive resonant sensors
Journal of Micromechanics and Microengineering,;Vol. 16(2006)p. s156-s160
Artikel i vetenskaplig tidskrift
Compatibility Assessment of CVD growth of Carbon nanofibers on bulkCMOS devices
NANO LETTERS,;(2008)
Artikel i vetenskaplig tidskrift
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Annan materialteknik
Annan elektroteknik och elektronik
ISBN
978-91-7385-587-7
Doktorsavhandlingar vid Chalmers tekniska högskola. Ny serie: 3268
Technical report MC2 - Department of Microtechnology and Nanoscience, Chalmers University of Technology: 201
Kollektorn, MC2, Kemivägen 9
Opponent: Professor William I. Milne