Vibration Modes of a Resonant Silicon Tube Density Sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.5, No. 1
39-43
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion