Vibration Modes of a Resonant Silicon Tube Density Sensor
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.5, No. 1

39-43

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Mer information

Skapat

2017-10-07