A valve-less planar pump isotropically etched in silicon
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Anders Olsson

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 6, No. 1

87-91

Styrkeområden

Transport

Produktion

Livsvetenskaper och teknik

Ämneskategorier

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik