A Silicon Resonant Sensor Structure for Coriolis Mass Flow Measurements
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6, No. 2

119-125

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Produktion

Energi