A Silicon Resonant Sensor Structure for Coriolis Mass Flow Measurements
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6, No. 2
119-125
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Transport
Produktion
Energi