Gas Damping of Electrostatically Excited Resonators
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Sensors and Actuators A 61

249-255

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Produktion