New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Journal of Micromechanics and Microengineering, 7

141-144

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Materialteknik

Annan teknik

Övrig annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Fundament

Grundläggande vetenskaper

Mer information

Skapat

2017-10-06