New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Journal of Micromechanics and Microengineering, 7
141-144
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Materialteknik
Annan teknik
Övrig annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Fundament
Grundläggande vetenskaper