Low pressure encapsulated resonant structures with integrated electrodes for electrostatic excitation and capacitive detection
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Sensors and Actuators A66
160-166
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Drivkrafter
Innovation och entreprenörskap