Low pressure encapsulated resonant structures with integrated electrodes for electrostatic excitation and capacitive detection
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Sensors and Actuators A66

160-166

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Drivkrafter

Innovation och entreprenörskap

Mer information

Skapat

2017-10-06