Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Journal of Micromechanics and Microengineering, 8

84-87

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Fundament

Grundläggande vetenskaper