Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Journal of Micromechanics and Microengineering, 8
84-87
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Fundament
Grundläggande vetenskaper