Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001
Författare
Korbinian Kunz
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Sensors and Actuators A
92 156-160
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik