Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001

Författare

Korbinian Kunz

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Sensors and Actuators A

92 156-160

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06