MICRO PINBALL GAME DEMONSTRATING AN EASY MEMS TRANSFER PROCESS USING ROOM TEMPERATURE PLASMA BONDING
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2003

Författare

Martin Bring

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Anke Sanz-Velasco

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Henrik Rödjegård

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Journal of Micromechanics and Microengineering

0960-1317 (ISSN)

Vol. 13 4 51-56

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06