MICRO PINBALL GAME DEMONSTRATING AN EASY MEMS TRANSFER PROCESS USING ROOM TEMPERATURE PLASMA BONDING
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2003

Författare

Martin Bring

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Anke Sanz-Velasco

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Henrik Rödjegård

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik

Journal of Micromechanics and Microengineering

0960-1317 (ISSN) 13616439 (eISSN)

Vol. 13 4 51-56

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Chalmers examensarbeten

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE