Low-temperature wafer-level transfer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001
Författare
Niklaus Frank
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Patrick Griss
Edvard Kälvesten
Göran Stemme
Publicerad i
Journal of Microelectromechanical Systems IEEE
Vol. 10 Nummer/häfte 4 s. 525 -531
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Materialvetenskap