Low-temperature wafer-level transfer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001

Författare

Niklaus Frank

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Patrick Griss

Edvard Kälvesten

Göran Stemme

Journal of Microelectromechanical Systems IEEE

Vol. 10 4 525 -531

Ämneskategorier

Maskinteknik

Materialteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Materialvetenskap

Mer information

Skapat

2017-10-07